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清洗用超纯水系统

清洗用超纯水系统

 罕王微电子(辽宁)有限公司是一家以MEMS传感器设计及制造生产为核心的高科技中美合资企业。主营业务为MEMS高端传感器及其配套电子产品,莱特莱德为其提供硅晶圆清洗用超纯水系统。
 
  项目内容:
 
  提供硅晶圆清洗用超纯水设备,产水符合美国ASTM D5127电子及半导体业用纯水水质TypeE-1.2,高于中国国家电子级超纯水标准GBT11446.1-1997EW-Ⅰ标准。
 
  
 
  项目介绍:
 
  项目工艺流程:原水-预处理-双级反渗透-脱气系统-EDI系统-脱气系统-抛光混床-终端颗粒去除器
 
  MEMS芯片设计和制造中少不了硅晶圆的身影,根据硅晶圆所需清洗用水标准,莱特莱德为其提供美标电子超纯水定制工艺方案,其中,对于TOC(总有机碳)和DO溶解氧(溶解氧)等指标上要求极高。为此工艺中设置了脱气系统,是为脱去可溶性气体特别是二氧化碳(含量过多会导致pH值下降),这样才能保证产出的超纯水的纯度。超纯水系统中TOC(总有机碳)相对含量较高会影响器件性能,为此设置除TOC 装置。最后采用终端过滤系统,避免取用超纯水时受到二次污染,确保水质对颗粒物的高指标要求。
 
  对于此次项目莱特莱德采用BOT(建设-移交-运营)模式,前期预先缴付押金,后期每月缴付运营费用,为期五年。五年中,一切运营维护都由莱特莱德承担,客户可以在前期较少投资的情况下就使用到美标1.2级超纯水。五年期满后,进行设备转让。BOT模式对于承建企业技术水平要求较高,拥有规模大、工程周期长、经营期限长等特点,这些也决定了工程建设的难度与风险。

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